液浸 [Dịch Tẩm]
えきしん
Danh từ chung
ngâm; nhúng
trong kính hiển vi, ngâm cả ống kính và mẫu vật trong chất lỏng để tăng khẩu độ số; trong quang khắc, lấp đầy khoảng không khí giữa thấu kính cuối và bề mặt wafer bằng chất lỏng để tăng độ phân giải